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1.微机械的概念 微型电子机械系统(MEMS)，是指集微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。 微型机械在美国常称为微型机电系统MEMS(MicroElectro Mechanical System)，在日本称为微机械（Micromachine）,欧洲则称为微系统（Micro-System）。 微机械按其尺寸特征可分为微小机械（1～10mm），微机械（1μm～1mm），纳米机械（1nm～1μm）。微电子机械系统（MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活将产生革命性的影响。并在未来高科技战争中扮演着举足轻重的角色，是关系国民经济发展和国家安全保障的关键技术。 2.微机械的特征 (1)体积小，精度高，重量轻 (2)性能稳定，可靠性高 (3)能耗低，灵敏度和工作效率高 自动控制网www.eadianqi.com版权所有 (4)多功能和智能化 (5)适用于大批量生产，制造成本低 |