|
随着科学技术的迅速发展和人民生活以及国防建设的需要，各国都大力发展制造业，尤其是在精密与超精密加工领域竞争更为激烈，因为它在尖端产品和现代化武器的制造中占有非常重要的位置，导弹的命中精度，主要取决于惯性仪表的精度。制造仪表需采用超精密加工技术和相应的设备。 我国精密与超精密加工技术还很落后，大量的精密产品还需进口，精密和超精密加工目前包含三个领域： （1）超精密切削，如金刚石刀具切削，可加工各种镜面，它成功的解决了高精度陀螺仪，激光反射镜和某些大型反射镜的加工。 （2）精密和超精密研磨，例如解决大规模集成电路基片的加工和高精度硬磁盘面等。 （3）精密特种加工，如电子束、离子束加工等。 2.精密与超精密加工技术的现状 3.精密与超精密加工技术的发展展望 超精密加工技术发展趋势是：向更高精度、更高效率方向发展；向大型化、微型化方向发展；向加工检测一体化方向发展；机床向多功能模块化方向发展；不断探讨适合于超精密加工的新原理、新方法、新材料。21世纪初十年将是超精密加工技术达到和完成纳米加工技术的关键十年 本文来自www.eadianqi.com 超精密加工的主要发展趋势表现为 （1）向高精度方向发展，由现在的亚微米级向纳米级进军，最终达到“移动原子”的目的,实现原子级加工。 （2）向大型化方向发展，研制各类大型的超精密加工设备，以满足航空、航天、通信和军事的需要。 （3）向微型化方向发展，以适应飞速发展的微机械、集成电路的需要。 （4）超精结构、多功能、光机电一体化、加工检测一体化等方向发展，广泛的采用先进的检测监控技术实时误差补偿。 （5）不断提出一些新工艺和复合加工技术，使加工的材料的范围不断扩大。 超精密加工技术目前研究主要方向有 （1）超精密加工的加工机理。微细加工机理研究；微观表面完整性研究；在超精密范畴内的对各种材料（包括被加工材料和刀具磨具材料）的加工过程、现象、性能以及工艺参数进行提示性研究。 （2）超精密加工设备制造技术。纳米级超精密车床工程化研究；超精密磨床研究；关键基础件，如轴系、导轨副、数控伺服系统、微位移装置等研究；超精密机床总成制造技术研究。 自动控制网www.eadianqi.com版权所有 （3）超精密加工刀具、磨具及刃磨技术。金刚石刀具及刃磨技术、金刚石微粉砂轮及其修整技术研究。 （4）精密测量技术及误差补偿技术。纳米级基准与传递系统建立；纳米级测量仪器研究；空间误差补偿技术研究；测量集成技术研究。 （5）超精密加工工作环境条件。超精密测量、控温系统、消振技术研究；超精密净化设备，新型特种排屑装置及相关技术的研究。 |