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为了提高光栅的分辨精度，还可用倍频的方法细分 本文来自www.eadianqi.com
自动控制网www.eadianqi.com版权所有 光栅检测系统的分辨率不仅取决于光栅尺的栅距，还取决于倍频的倍数n，即分辨率k=P/n 本文来自www.eadianqi.com 由于光栅的刻线可以制作十分精确，同时莫尔条纹对刻线局部误差有均化作用，因此，栅距误差对测量精度影响较小。也可采用信号。在检测过程中，标尺光栅与指示光栅不直接接触，没有磨损，因而精度可以长期保持。光线刻线要求很精确，两光栅之间的间隙及倾斜角都要求保持不变，制造调试比较困难。光学系统易受外界的影响产生误差，同时又有灰尘、油、冷却液等污物的侵入，易使光学系统变质。 本文来自www.eadianqi.com |
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